《MEMS加速度傳感器測試方法》（SJ21264-2018）【全文附高清PDF+DOC/Word版下載】
標準號：SJ21264-2018
標準名稱：MEMS加速度傳感器測試方法
英文名稱：Test methods for MEMS acceleration transducer
發布日期：2018-01-18
實施日期：2018-05-01
發布單位：國家國防科技工業局
中國標準分類:L55(微電路綜合)
國際標準分類:31.200(集成電路、微電子學)
簡介：本標準規定了MEMS加速度傳感器電參數的測試環境、測試設備和儀器的一般要求，以及參數測試目的、測試框圖、測試原理、規定條件、測試步驟和計算方法。 本標準適用于MEMS加速度傳感器的偏值、標度因數、閾值、分辨率、偏值短期穩定性、標度因數短期穩定性和偏值短期重復性等參數測試。
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