《多晶硅工廠設計規范》（GB51034-2014）【全文附高清無水印PDF+DOC/Word版下載】
標準編號：GB51034-2014
標準名稱：多晶硅工廠設計規范
英文名稱：Code for design of polysilicon plant
發布日期：2014-08-27
實施日期：2015-05-01
發布單位：國家市場監督管理總局
中國標準分類：P76(通信工程)
國際標準分類：29.045(半導體材料)
簡介：本規范適用于采用三氯氫硅氫還原法的新建、擴建和改建多晶硅工廠的工程設計,也適用于硅烷歧化法多晶硅廠中三氯氫硅合成、四氯化硅氫化和氯硅烷提純的工程設計。
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