《硅集成電路芯片工廠設計規范》（GB50809-2012）【全文附高清無水印PDF+DOC/Word版下載】
標準號：GB50809-2012
中文名稱：硅集成電路芯片工廠設計規范
英文名稱：Code for design of silicon integrated circuits wafer fab
適用范圍：本規范適用于新建、改建和擴建的硅集成電路芯片工廠的工程設計。
標準來源：本標準附帶條文說明
發布日期：2012-10-11
實施日期： 2012-12-01
中國標準分類： P82(電子制造業工程)
國際標準分類： 31.200(集成電路、微電子學)
歸口單位： 中華人民共和國工業和信息化部
PDF質量：高清晰無水印PDF+Word版【內容可復制、可編輯、可搜索】（官方正式版、完整版，共計：95P（頁），PDF文檔大?。?.184MB）
